Numerische Strömungssimulation in 13,56-MHz-Hohlkathoden-Plasmajet-Plasmaquellen für Oberflächenprozesse
2004
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Monograph, Academic Publication, Electronic Resource
- 1 Computerdatei (ca. 18,8 MB) ; Auszüge (Titel, Inhaltsverzeichnis, ca. 111 KB)
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Title: |
Numerische Strömungssimulation in 13,56-MHz-Hohlkathoden-Plasmajet-Plasmaquellen für Oberflächenprozesse
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Statement of Responsibility: | von Volker Schaffert |
Author / Contributor: | Schaffert, Volker (1971-) |
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Publication: | 2004 |
Media Type: | Monograph, Academic Publication |
Carrier Type: | Electronic Resource |
Pagination: | 1 Computerdatei (ca. 18,8 MB) ; Auszüge (Titel, Inhaltsverzeichnis, ca. 111 KB) |
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