Plasmapolymerisation von Hexamethyldisiloxan zur Abscheidung von quarzähnlichen Schichten bei gepulster Leistungszufuhr

von Christian Soll

2000

Online Monograph, Academic Publication, Electronic Resource - 1 Computerdatei (ca. 5,70 MB) ; Auszüge (Titel, Inhaltsverzeichnis, Symbolverzeichnis, ca. 103 KB)

Access:

Hochschulschriften der Bergischen Universität Wuppertal (Volltext)

Title:	Plasmapolymerisation von Hexamethyldisiloxan zur Abscheidung von quarzähnlichen Schichten bei gepulster Leistungszufuhr
Statement of Responsibility:	von Christian Soll
Author / Contributor:	Soll, Christian
Local link:	Hochschulschriften der Bergischen Universität Wuppertal (Volltext)
Link:	http://elpub.bib.uni-wuppertal.de/edocs/dokumente/fb13/diss2000/soll/
Related work:	Erscheint auch als: Druckausg. u.d.T.: Soll, Christian: Plasmapolymerisation von Hexamethyldisiloxan zur Abscheidung von quarzähnlichen Schichten bei gepulster Leistungszufuhr
Publication:	2000
Media Type:	Monograph, Academic Publication
Carrier Type:	Electronic Resource
Pagination:	1 Computerdatei (ca. 5,70 MB) ; Auszüge (Titel, Inhaltsverzeichnis, Symbolverzeichnis, ca. 103 KB)
Additional details:	Online-Ressource [Kann nicht per Fernleihe bestellt werden!] Wuppertal, Univ., Diss. Lokale Notationen: UFZ Fächer: Physik hbz Verbund-ID: HT013251718

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