Progress on carbon nanotube BEOL interconnects
In: 21st Design, Automation & Test in Europe Conference & Exhibition ; DATE 2018 - 21st Design, 2018
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International audience ; This article is a review of the current progress and results obtained in the European H2020 CONNECT project. Amongst all the research on carbon nanotube interconnects, those discussed here cover 1) process & growth of carbon nanotube interconnects compatible with back-end-of-line integration, 2) modeling and simulation from atomistic to circuit-level bench-marking and performance prediction, and 3) characterization and electrical measurements. We provide an overview of the current advancements on carbon nanotube interconnects and also regarding the prospects for designing energy efficient integrated circuits. Each selected category is presented in an accessible manner aiming to serve as a review and informative cornerstone on carbon nanotube interconnects.
| Titel: |
Progress on carbon nanotube BEOL interconnects
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| Autor/in / Beteiligte Person: | Uhlig, Benjamin ; Liang, Jie ; Jaehyun, Lee ; Ramos, Raphael ; Dhavamani, Abitha ; Nagy, Nicole ; Dijon, Jean ; Okuno, Hanako ; Kalita, Dipankar ; Georgiev, Vihar P. ; Asen, Asenov ; Amoroso, Salvatore ; Wang, Liping ; Millar, Campbell ; Konemann, F. ; Gotsmann, Bernd ; Goncalves, Goncalo ; Chen, Bingham ; Pandey, Reetu Raj ; Chen, Rongmei ; Todri-Sanial, Aida ; Fraunhofer Institute for Physical Measurement Techniques (Fraunhofer IPM) ; (Fraunhofer-Gesellschaft), Fraunhofer ; Smart Integrated Electronic Systems (SmartIES) ; Laboratoire d'Informatique de Robotique et de Microélectronique de Montpellier (LIRMM) ; Université de Montpellier (UM)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université de Montpellier (UM)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS) ; University of Glasgow ; Laboratoire d'Innovation pour les Technologies des Energies Nouvelles et les nanomatériaux (LITEN) ; Institut National de L'Energie Solaire (INES) ; Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Université Savoie Mont Blanc (USMB Université de Savoie Université de Chambéry )-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Université Savoie Mont Blanc (USMB Université de Savoie Université de Chambéry )-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Direction de Recherche Technologique (CEA) (DRT (CEA)) ; Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA) ; Laboratoire d'Etude des Matériaux par Microscopie Avancée (LEMMA ) ; Modélisation et Exploration des Matériaux (MEM) ; Université Grenoble Alpes 2016-2019 (UGA 2016-2019 )-Institut de Recherche Interdisciplinaire de Grenoble (IRIG) ; Direction de Recherche Fondamentale (CEA) (DRF (CEA)) ; Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Direction de Recherche Fondamentale (CEA) (DRF (CEA)) ; Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Université Grenoble Alpes 2016-2019 (UGA 2016-2019 )-Institut de Recherche Interdisciplinaire de Grenoble (IRIG) ; James Watt School of Engineering Univ Glasgow ; Inc., Synopsys ; IBM Research Laboratory Zurich ; IBM Research Zurich ; (UK), Aixtron ; AIXTRON, SE ; European Project: 688612,H2020,H2020-ICT-2015,CONNECT(2016) |
| Link: | |
| Zeitschrift: | 21st Design, Automation & Test in Europe Conference & Exhibition ; DATE 2018 - 21st Design, 2018 |
| Veröffentlichung: | HAL CCSD ; IEEE, 2018 |
| Medientyp: | Konferenz |
| DOI: | 10.23919/DATE.2018.8342144 |
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