Gate process control using spectroscopic ellipsometry.

Hodges, J. Scott ; Yu-Lun Lin, J. Scott ; et al.

In: Solid State Technology, Jg. 47 (2004-04-01), Heft 4, S. 37-39

academicJournal

Introduces the logic devices manufactured by Texas Instruments Inc. in San Jose, California. Assessment on the quality of the device; Product specifications; Details on the physical dimension of the polysilicon gate.

Titel:	Gate process control using spectroscopic ellipsometry.
Autor/in / Beteiligte Person:	Hodges, J. Scott ; Yu-Lun Lin, J. Scott ; Peters, Robert M.
Zeitschrift:	Solid State Technology, Jg. 47 (2004-04-01), Heft 4, S. 37-39
Veröffentlichung:	2004
Medientyp:	academicJournal
ISSN:	0038-111X (print)
Schlagwort:	SAN Jose (Calif.) CALIFORNIA UNITED States TEXAS Instruments Inc. LOGIC devices PRODUCT quality TECHNICAL specifications SILICON LOGIC devices * PRODUCT quality * TECHNICAL specifications * 007321904 TXN
Sonstiges:	Nachgewiesen in: Academic Search Index Sprachen: English Geographic Terms: SAN Jose (Calif.) ; CALIFORNIA ; UNITED States

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