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    High-resolution eddy current sensor system for quality assessment of carbon fiber materials.
    In: Microsystem Technologies, Jg. 16 (2010-05-01), Heft 5, S. 791-797
    academicJournal
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    academicJournal
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    Smart ultrasonic sensors systems: potential of aluminum nitride thin films for the excitation of the ultrasound at high frequencies.
    Walter, Susan ; Herzog, Thomas ; et al.
    In: Microsystem Technologies, Jg. 18 (2012-08-01), Heft 7/8, S. 1193-1199
    academicJournal
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    Hybrid tooling by a combination of high speed cutting and electrochemical milling with ultrashort voltage pulses.
    Staemmler, L. ; Hofmann, K.
    In: Microsystem Technologies, Jg. 14 (2008-02-05), Heft 2, S. 249-254
    academicJournal
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    academicJournal
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