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    Silicon-based membrane pressure sensor for inline monitoring of pressure and hermeticity of small-volume bonded packages
    Koch, Jannik ; Brinkmann, Levin Marten ; et al.
    In: 2024 IEEE 74th Electronic Components and Technology Conference (ECTC), 2024-05-28, S. 193-200
    Online Konferenz
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    Inline and Real-Time Microfluidic Relative Permittivity Sensor Using Highly Doped Silicon Sidewall Electrodes
    Bonnema, Maarten J.S. ; Veltkamp, Henk-Willem ; et al.
    In: 2024 IEEE 37th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 2024-01-21, S. 805-808
    Online Konferenz
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    An Electrical Inline-Testable Structure to Monitor Gate-Source/Drain Short Defect Caused by Imperfect Fin-Cut Patterning in FinFET Technology
    Zhu, Hai ; Onishi, Katsunori ; et al.
    In: 2023 35th International Conference on Microelectronic Test Structure (ICMTS), 2023-03-27, S. 1-4
    Online Konferenz
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    Defect-Directed Stress Testing Based on Inline Inspection Results
    He, Chen ; Grosch, Paul ; et al.
    In: 2022 IEEE International Test Conference (ITC), 2022-09-01, S. 427-435
    Online Konferenz
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    A 10-to-300MHz Fractional Output Divider with -80dBc Worst-Case Fractional Spurs Using Auxiliary-PLL-Based Background 0th/1st/2nd-Order DTC INL Calibration
    Yang, Yumeng ; Deng, Wei ; et al.
    In: 2023 IEEE International Solid-State Circuits Conference (ISSCC), 2023-02-19, S. 1-3
    Online Konferenz
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    Minimization of CNN Training Data by using Data Augmentation for Inline Defect Classification
    Fujishiro, Akihiro ; Nagamura, Yoshikazu ; et al.
    In: 2020 International Symposium on Semiconductor Manufacturing (ISSM), 2020-12-15, S. 1-4
    Online Konferenz
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    Inline Tilt Measurements of Sintered Dies by Optical Line Scanning as Quality Assessment Tool for Smart Production
    May, D. ; Heilmann, J. ; et al.
    In: 2022 23rd International Conference on Thermal, Mechanical and Multi-Physics Simulation and Experiments in Microelectronics and Microsystems (EuroSimE), 2022-04-25, S. 1-7
    Online Konferenz
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    The Type and Solution of Inline Poly Residue Defect for 28 HK Process Improvement
    Wang, Min ; Chen, Hunglin ; et al.
    In: 2022 China Semiconductor Technology International Conference (CSTIC), 2022-06-20, S. 1-3
    Online Konferenz
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    Inland ship detection based on dynamic group sparsity
    Mei, Langqi ; Guo, Jianming ; et al.
    In: 2017 Ninth International Conference on Advanced Computational Intelligence (ICACI), 2017-02-01, S. 1-6
    Online Konferenz
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    High Speed Wafer Geometry on Silicon Wafers Using Wave Front Phase Imaging for Inline Metrology
    Trujillo-Sevilla, J.M. ; Ramos-Rodriguez, J.M. ; et al.
    In: 2020 China Semiconductor Technology International Conference (CSTIC), 2020-06-26, S. 1-3
    Online Konferenz
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    Inline relative permittivity sensing using silicon electrodes realized in surface channel technology
    Alveringh, Dennis ; Wiegerink, Remco J. ; et al.
    In: 2018 IEEE Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 2018, S. 840-843
    Online Konferenz
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  12. Detailansicht für Treffer 12 öffnen
    21.6% monoPolyTM cells with in-situ interfacial oxide and poly-Si layers deposited by inline PECVD
    Nandakumar, Naomi ; Rodriguez, John ; et al.
    In: 2018 IEEE 7th World Conference on Photovoltaic Energy Conversion (WCPEC) (A Joint Conference of 45th IEEE PVSC, 28th PVSEC & 34th EU PVSEC), 2018-06-01, S. 2048-2051
    Online Konferenz
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    RTO process monitoring with inline non-contact technique
    Pic, Nicolas ; Paire, Emmanuel ; et al.
    In: 2012 SEMI Advanced Semiconductor Manufacturing Conference, 2012-05-01, S. 192-197
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    Inline monitoring of SiGe strain relaxed buffers (SRBs) using high-resolution X-ray diffraction: AM: Advanced metrology
    Mendoza, B. ; L'Herron, B. ; et al.
    In: 2016 27th Annual SEMI Advanced Semiconductor Manufacturing Conference (ASMC), 2016-05-01, S. 44-49
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    Embedding rigid and flexible inlays in carbon fiber reinforced plastics
    Moghaddam, M. Kahali ; Boll, D. ; et al.
    In: 2014 IEEE/ASME International Conference on Advanced Intelligent Mechatronics, 2014-07-01, S. 1387-1392
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    Inline composition and thickness control of SiON, HfSiON gate films using VUV capable spectroscopic ellipsometer
    Rangarajan, Srinivasan ; Shepard, Joseph ; et al.
    In: 2010 IEEE/SEMI Advanced Semiconductor Manufacturing Conference (ASMC), 2010-07-01, S. 55-60
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    Rear-side point-contacts by inline thermal evaporation of aluminum
    Mader, Christoph ; Muller, Jens ; et al.
    In: 2010 35th IEEE Photovoltaic Specialists Conference, 2010-06-01, S. 1446-1449
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  18. Detailansicht für Treffer 18 öffnen
    State-of-the-art surface passivation of boron emitters using inline PECVD AlOx/SiNx stacks for industrial high-efficiency silicon wafer solar cells
    Duttagupta, Shubham ; Lin, Fen ; et al.
    In: 2012 38th IEEE Photovoltaic Specialists Conference, 2012-06-01, S. 1036-1039
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    Non-destructive inline evaluation method for the gate insulator in the nodes beyond the 22nm generation
    Nishi, Yuya ; Hirano, Toshimasa ; et al.
    In: 2010 International Symposium on Semiconductor Manufacturing (ISSM), 2010-10-01, S. 1-4
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    21.1 % efficient perc silicon solar cells on large scale by using inline sputtering for metallization
    Reinwand, Dirk ; Specht, Jan ; et al.
    In: 2010 35th IEEE Photovoltaic Specialists Conference, 2010-06-01, S. 3582-3586
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