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In: 2008 Symposium on Design, Test, Integration and Packaging of MEMS/MOEMS, 2008-04-01, S. 8Online KonferenzZugriff:
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In: 2008 Symposium on Design, Test, Integration and Packaging of MEMS/MOEMS, 2008-04-01, S. 197Online KonferenzZugriff: